닫기

일반뉴스

계측 시스템 ‘Archer 500LCM’...16nm보다 작은 IC 개발 생산 지원

  • 등록 2015.04.17 11:26:55
URL복사

‘Archer 500LCM’은 16nm 이하급 IC의 개발과 생산을 지원한다. 이 계측 시스템은 정확한 오버레이 오류 피드백을 제공함으로써 칩 메이커가 다중 패터닝, 스페이서 피치 스플리팅 등의 패터닝 기법을 적용할 때 발생하는 오버레이 문제를 해결하는 데 도움을 준다. 또한 이미징 기술과 레이저 기반 산란 측정법 계측 기술을 모두 활용한 다양한 계측 옵션을 제공하며 오버레이 계측 타깃 디자인을 폭넓게 지원한다.


KLA-Tencor
TEL : +1-408-875-3000   www.kla-tencor.com






주요파트너/추천기업