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경원테크, 플라즈마 기술 이전받아 반도체공정 SW 국산화 성공

  • 등록 2013.08.29 17:47:48
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경원테크, 플라즈마 기술 이전받아 반도체공정 SW 국산화 성공

국가핵융합연구소로부터 플라즈마 기술을 이전받은 경원테크가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어 국산화에 성공했다.
경원테크는 핵융합(연), 표준(연), 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 K-Speed 개발에 성공했으며, 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결했다.
이번 K-Speed 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 되어, 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다. 또한 K-Speed는 더 빠르고 정확한 새로운 반도체 제조 공정개발과 반도체 구조개발 등의 신기술 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 예상된다.
실제로 K-Speed는 GPU 기반의 병렬화 성공을 통해 기존의 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상의 계산시간을 단축했다. 또한 기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는 데 반해 K-Speed는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산하는 것으로 확인됐다.
경원테크는 K-Speed 판매로 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다. 서광원 경원테크 대표는 “향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합 (연)에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것”이라고 말했다.






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