헬로티 김진희 기자 | 리스광시스템이 ‘스마트공장·자동화산업전 2021(SmartFactory+AutomationWorld 2021)’에서 현미경, 텔레스트릭 렌즈, 웨이퍼 검사 시스템 등 다양한 머신비전 제품을 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스 전관에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 리스광시스템이 이번에 선보인 현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성 되어있는 광학계이며, 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다. 필터, 편광자, 빔 스플리터 등 다양한 광학 부품들을 적용할 수 있으며, 공간적 제약이 많은 환경에서 사용할 수 있도록 최적화 되어있다. 웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능하다. 이와함께 전시된 텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해
[첨단 헬로티] '광유도력' 발생원리 학계 논쟁 종지부 찍을 듯 한국표준과학연구원(KRISS, 원장 직무대행 조성재)이 나노물질이 빛과 반응할 때 발생하는 신비한 힘의 원리를 세계 최초로 규명했다. KRISS 나노구조측정센터 이은성 책임연구원팀은 반도체 등 다양한 나노물질이 빛과 상호작용하면서 발생하는 광유도력(photo-induced force)의 물리학적 원리를 밝혀냈다. 발생원리의 불확실성으로 혼란이 있던 광유도력의 응용방향이 명확해짐에 따라, 나노소자의 내부를 파괴 없이 탐침으로 두드려가며 측정하는 광유도력 현미경의 활용이 가속화될 것으로 전망된다. 미세한 물질의 형상이나 특성을 관찰하는 가장 대표적인 장비는 광학현미경이다. 물질에 빛을 쪼이면 발생하는 반사광 또는 투과광을 렌즈로 집속하고 확대시키는 것이 광학현미경의 측정원리다. 하지만 물질의 크기가 나노미터급으로 빛의 파장보다 훨씬 작아지면, 렌즈를 사용하는 광학현미경으로는 회절한계 때문에 제대로 관찰할 수 없다. 최근 기존의 문제점을 극복하기 위한 대안으로 세계의 연구진들이 광유도력 현미경(PiFM; Photo-induced Force Microscope)에 주목하고 있다. 광유도력 현미경은 렌즈
[첨단 헬로티] 현미경 기술자립 도울 에너지 분석기 원천기술 개발 한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박상열)이 첨단 현미경의 기술자립을 가속화할 핵심 기반기술인 에너지 분석기를 국산화하는 데 성공했다. KRISS 첨단측정장비연구소 박인용 책임연구원팀은 전자 및 이온 현미경의 광원인 하전입자 빔의 에너지 분포를 측정할 수 있는 원천기술을 개발했다. KRISS가 신규 개발한 에너지 분석기는 기존 기술보다 매우 작고 간단한 구조임에도 월등한 측정 정확도를 자랑한다. 하전입자(charged particle)은 전하를 띄는 입자로, 전자·양성자·이온 등이 해당되며 전자현미경은 전자빔을, 이온현미경은 이온빔을 광원으로 사용한다. 이번 기술을 통해, 외국 장비회사가 주도하고 있는 고부가가치의 현미경 산업을 뼈대부터 국산화할 수 있는 기반이 확립될 전망이다. 그림1. KRISS가 개발한 원통형 에너지 분석기의 구조 전자현미경, 이온현미경과 같이 나노미터 급의 분해능을 자랑하는 첨단 현미경은 소재, 부품, 바이오 등 다방면의 과학기술에 없어서는 안 될 만능 장비로 활용되고 있다. 하지만 이런 중요성에도 불구하고 현미경 산업은 아직 일본과 같은 외산
[첨단 헬로티] 동일 광학 포맷에서 해상도를 두 배로 늘려주는 TowerJazz의 2.5µm 글로벌 셔터 픽셀 적용 Teledyne Technologies 계열사이자 이미징 솔루션 분야 선도기업 Teledyne e2v와 스페셜티 파운드리 업체인 TowerJazz는 초고해상도 검사와 하이 엔드 감시 및 현미경 검사용으로 설계된 Teledyne e2v Emerald 67M 이미지 센서를 출시했다. 이 센서는 Teledyne e2v의 Emerald 제품군으로 출시되었으며 일본 우오즈시 팹(300mm)에서 TowerJazz의 65nm 플랫폼과 세계 최소형 2.5µm 저 노이즈 글로벌 셔터 픽셀을 사용해 만들어진 것이 특징이다. 픽셀에는 독창적인 광 파이프 기술이 적용되어 뛰어난 각 반응(angular response)과 80dB 이상의 셔터 효율성을 초소형, 적은 노이즈(one electron)로 제공한다. 이와 같은 독특한 픽셀 아키텍처는 훨씬 작은 결함을 탐지함으로써 제조 수율을 개선할 수 있는 최첨단 성능을 제공한다. TowerJazz가 단독으로 제조하는 Emerald 제품 군 센서는 고객에게 예전에 없던 특성을 제공하며 10GigE, C
코셈의 주사전자 현미경(EM-30AX)은 SEM-EDS 일체형 모델로, 사용하기 쉬운 인터페이스와 높은 수준의 오토 포커스, 콘트라스트, 밝기, 건 얼라인먼트(Gun Alignment) 기능을 제공한다. 최대 넓이 70mm, 높이 45mm의 시료 측정이 가능한 큰 체임버가 특징적이며 최대 x100,000배까지 촬영이 가능하다. 시료 교체 시간 2분 이내로 빠른 교체가 가능하다. 김희성 기자 (npnted@hellot.net)
제이피케이의 스마트폰 카메라 현미경(J CAM)은 초점을 조절하지 않아도 선명한 화질로 촬영이 가능하며 30mm(폭)×42mm(길이)로 주머니에 들어갈 만큼 작은 크기이다. 또한 케이블만 연결하면 바로 사용할 수 있어 편리하다. 10mm 높이에서도 선명하게 촬영되며 0.1mm 단위로 치수를 측정할 수 있다. 구글스토어에서 J CAM 앱을 다운받을 수 있다. 김희성 기자 (npnted@hellot.net)
시원광기술의 디지털 현미경 MIMIS-M 모델은 이미지 센서로 CMOS를 사용하며 컴퓨터의 USB 포트에 연결해서 사용한다. DIMIS는 조명을 위한 광원으로 백색 LED 램프를 사용하며 내장형이므로 조명을 위한 별도의 전원이 필요 없다. 카메라에는 AGC(Auto Gain Control) 기능이 있어 사용자가 편한 밝기로 볼 수 있다. 그리고 LED 램프의 밝기도 조절할 수 있다. 일반 현미경과 달리 1개의 대물렌즈와 이미지 센서까지의 거리를 조절함으로써 배율을 약 2배까지 조정 가능하다. 김희성 기자 (npnted@hellot.net)
Basler가 최근 현미경용 Basler PowerPack을 출시했다. 현미경용 Basler PowerPack은 간편한 시스템 설정 및 손쉬운 설치가 가능한 모든 필수 구성 요소와 결합된 고품질 카메라다. 표준 USB 3.0 인터페이스의 컬러 카메라는 첨단 CMOS 센서 기술에 의해 다양한 구성의 성능을 갖추고 있다. 카메라는 테스트를 거친 액세서리와 카메라 제어, 이미지 수집, 처리 및 분석을 위한 전문적인 Basler Microscopy Software가 같이 공급된다. 현미경 애플리케이션의 이미지 구현 시스템 요구 사항은 매우 달라진다. 현미경용 Basler PowerPack에는 이러한 요구 사항을 만족시키기 위한 최신 기술 및 비용 대비 가장 효과적인 카메라들이 포함된다. 최첨단 CMOS 센서들은 높은 성능, 120만 픽셀부터 500만 픽셀까지의 해상도를 가진 최고의 이미지 품질을 제공한다. 현미경용 Basler PowerPack에는 카메라 제어, 이미지 수집, 처리 및 분석을 위한 전문적인 Basler Microscopy Software가 포함되어 있다. 카메라 및 소프트웨어는 신뢰할 수 있는 성능 보장을 위해 잘 어울린다. 이 전문 소프트웨어는 손
인우하이텍은 20년에 걸쳐 각종 현미경과 광학 분야의 여러 가지 검사 장비 등을 개발 및 제조하고 있는 광학 분야의 전문기업이다. 다양한 현미경 및 검사 장비 등을 고객의 요구에 맞춰 합리적인 가격으로 공급을 하고 있으며, 다년간의 축적된 경험과 기술을 바탕으로 고객의 요구에 부응할 수 있도록 노력하고 있다. 이솔이 기자