일반뉴스 LG디스플레이-연세대, 포토리소그래피 디스플레이 기술 ‘세계적 과학저널 네이처’ 게재

[첨단 헬로티] 기존 공정의 한계 극복하기 위해 새로운 타입의 마스크 활용하는 포토리소그래피 기술 개발 LG디스플레이는 산학 협력 차원에서 인큐베이션 과제 지원을 통해 연세대학교 심우영 교수(신소재공학과) 연구팀에서 수행한 연구 결과 가 세계적인 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 (Nature Communications) 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다. 이번 논문은 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크 를 이용하여 기존의 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피(Photolithography) 기술 개발에 관한 것으로, 해당 기술은 LCD 뿐만 아니라 OLED에도 적용 가능하다. 포토리소그래피는 반도체나 디스플레이 제조 공정에서 포토레지스트라고 불리는 감광액을 실리콘 웨이퍼나 글라스 위에 얇게 바른 후, 설계된 패턴이 그려진 마스크를 올려 놓고 빛을 쬐어 회로를 형성하는 기술이다. 회로패턴이 만들어지는 형상은 포토마스크라고 불리는 핵심부품이 결정하게 된다. 금속패턴으로 만들어 놓은 포토마스크를 놓고 빛을 쬐어 생기는 그림자가 기판에 전사되며 이를 통해 원하는 전자회로를 단시간에 복사할 수 있기 때문에 대량 생산에 용이하다. 그

• 이나리 기자
• 2020-02-13 10:07