[헬로티] 한국표준과학연구원(KRISS)은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공했다. 약 20종에 대해 시험검사 서비스를 진행할 예정이며, 가장 먼저 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다. KRISS는 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응하기 위해 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해왔다. 분석 장비비 8억, 시설 구축비 7억 등 긴급 자체 예산 15억을 사용해 실험실을 완공했다. ▲ KRISS 가스분석표준그룹 산업용독성가스분석표준팀이 불화수소 품질평가를 진행하고 있다. KRISS는 이번 실험실 구축을 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험 결과를 제공할 수 있게 됐다. 국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 산업 전반의 경쟁력 향상이 기대된다. 불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도의 불화수소가 필요하다. 고순도 불화수소는 쇼와덴코, 모리타, 스텔라 케미파 등 일본업체에서 세계시장을 독점하고 있다. 국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라서 표준화돼 있지 않다. KRISS에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실
[첨단 헬로티] 한국표준과학연구원(KRISS)이 일본의 수출규제 대응을 위하여 컨트롤타워를 구축하고, 범국가적 대응에 적극 참여하기로 했다. 컨트롤타워의 명칭은 ‘일본 수출규제 적극대응 위원회’(가칭, 이하 ‘위원회‘)이며, KRISS 조성재 부원장이 위원장을 맡았다. ▲ KRISS 첨단측정장비연구소 연구진이 반도체측정장비 연구를 진행하고 있다. KRISS 박상열 원장은 지난 6일 진행된 1차 위원회에서 국가적 사안 해결에 출연(연)으로서의 책임을 강조하며, 일본의 수출규제에 대한 대응에 동참할 것을 요청했다. 위원회에서는 수출규제와 관련된 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등 KRISS의 측정기술역량을 극대화할 수 있는 분야에 중점을 맞춘 전략이 도출됐다. KRISS는 △교정·시험서비스 패스트트랙 운영, △불화수소 등 반도체 공정가스 품질평가 지원체계 마련 △반도체 및 첨단소재 신뢰성 평가 플랫폼 운영 △웨이퍼 불순물 측정분석장비 국산화를 위한 원천기술 및 장비화 기술개발 연구기획 등으로 분야를 세분화하여 체계적인 지원에 나설 계획이다. 현재 KRISS는 세계 최고 수준의 국가측정표준과 측정기
[첨단 헬로티] 글로벌 산업자동화 계기·솔루션 전문기업 엔드레스하우저가 스위스 라이나흐(Reinach)에 위치한 엔드레스하우저 사옥에서 ‘개방형 통합을 위한 파트너 회의(Open Integration Partner Meeting)’를 개최했다. 이번 회의에서 엔드레스하우저는, 파트너 프로그램을 통해 공정을 디지털화하는 데 성공한 화학 및 제약 산업군의 고객사를 초청, 디지털화된 공정의 장점과 해당 프로그램의 향후 전망을 공유했다. ▲ 개방형 통합을 위한 파트너 회의에는 파트너 35명과 함께, 제어 기술, 필드버스 구조, 측정기술 및 액추에이터 시스템 공급자들이 참석했다. 이번 개방형 통합을 위한 파트너 회의에는 파트너 35명과 함께, 엔드레스하우저 측이 제품의 상호작용 테스트 및 문서화를 주제로 제어 기술, 필드버스 구조, 측정기술 및 액추에이터 시스템 공급자들이 참석했다. 아우마 레지스터(Auma Riester), 훼스토(Festo), 플로우서브(Flowserve), 히마(Hima Paul Hildebrandt), 하니웰(Honeywell Process Solutions), 미쓰비시 전기(Mitsubishi Electric
[첨단 헬로티] NXT가 2월 7일(수)부터 9일(금)까지 일산 킨텍스에서 개최되는 ‘2018 HI-TECH KOREA’에 참가해 OLED, 태양전지, 평판 디스플레이, 정밀 과학, 정밀 코팅 분야에 적용되는 측정장비를 선보였다. NXT는 1991년 독일에서 설립된 회사로 광학 디스크와 기능성 코팅 두께 측정장비를 생산하고 있다. NXT의 측정기술은 OLED, 태양전지, 평판 디스플레이, 정밀 과학, 정밀 코팅, 자동차 유리 및 그 밖의 박막 응용제품 제조 분야에 적용되며, 회사의 브랜드인 ETA, TCM, Helios, Xelas는 품질보증과 생산효율을 관리할 수 있는 최적의 측정장비다. NXT 측정장비의 장점은 고속 측정과 측정이 용이하며 시료까지 거리 편차 및 시료의 기울음(tilt)에 대한 관용성이 크다. 또 멀티 채널 구성이 가능하고 투과율까지 고려해 두께를 측정하며 클로즈드 루프 컨트롤로 전수검사 및 통계적 품질관리가 가능하다. 한편 ‘2018 HI-TECH KOREA’는 소재·접합 기술, 첨단센서 기술, 광학검사 기술 등 고도화된 선진 기술들이 총망라된 산업전이다. 이번 전시회에는 &lsqu
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