SF+AW [스마트팩토리+오토메이션월드 2021] 리스광시스템, 현미경과 웨이퍼검사시스템 '주목'

헬로티 김진희 기자 | 리스광시스템이 ‘스마트공장·자동화산업전 2021(SmartFactory+AutomationWorld 2021)’에서 현미경, 텔레스트릭 렌즈, 웨이퍼 검사 시스템 등 다양한 머신비전 제품을 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스 전관에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 리스광시스템이 이번에 선보인 현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성 되어있는 광학계이며, 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다. 필터, 편광자, 빔 스플리터 등 다양한 광학 부품들을 적용할 수 있으며, 공간적 제약이 많은 환경에서 사용할 수 있도록 최적화 되어있다. 웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능하다. 이와함께 전시된 텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해

• 김진희 기자
• 2021-09-10 13:36