일반뉴스 반도체 깊은 곳까지 보는 ‘광유도력 현미경‘ 개발돼

[첨단 헬로티] 한국표준과학연구원(이하 KRISS)이 광학적인 방법으로 나노미터(nm) 크기의 소자 내부 깊은 곳까지 측정할 수 있는 고감도 현미경 기술을 개발했다. 나노구조측정센터 이은성 책임연구원팀은 나노미터급 반도체나 전자소자의 구조를 광학적인 방법으로 영상화하는 ‘광유도력 현미경(PiFM)’을 개발하였다. 이번 기술을 이용하면 소자를 절단하지 않는 비파괴적인 검사가 가능해진다. 반도체 내부에 발생하는 공극(void)과 같은 결함 문제가 해결될 것으로 보인다. 물질을 나노미터 수준으로 관찰하는 가장 대표적인 장비는 원자힘 현미경(AFM, Atomic Force Microscope)이다. 마치 시각장애인이 대상을 손으로 더듬으며 정보를 파악하듯, 원자힘 현미경은 탐침이 물질을 눌러 훑으면서 원자의 힘을 이용하여 3차원 영상을 얻을 수 있다. 하지만 원자힘 현미경은 말 그대로 물질을 훑기만 한다는 데에 한계가 있다. 즉, 표면의 형상은 알 수 있지만 내부 깊은 곳의 결함을 파악하는 것은 불가능하다는 것이다. 이와 같은 결함은 반도체 내부에 생기는 공극이라는 기포가 대표적인데, 반도체 생산 수율을 결정짓는 중요한 품질 문제 중 하나다.

• 조상록 기자
• 2018-12-18 18:21