오토메이션월드-대한민국 1등 산업매거진 '자동화기술'

SF+AW [스마트팩토리+오토메이션월드 2021] 리스광시스템, 현미경과 웨이퍼검사시스템 '주목'

헬로티 김진희 기자 | 리스광시스템이 ‘스마트공장·자동화산업전 2021(SmartFactory+AutomationWorld 2021)’에서 현미경, 텔레스트릭 렌즈, 웨이퍼 검사 시스템 등 다양한 머신비전 제품을 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2021은 9월 8일(수)부터 10일(금)까지 서울 코엑스 전관에서 열리는 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 리스광시스템이 이번에 선보인 현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성 되어있는 광학계이며, 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다. 필터, 편광자, 빔 스플리터 등 다양한 광학 부품들을 적용할 수 있으며, 공간적 제약이 많은 환경에서 사용할 수 있도록 최적화 되어있다. 웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능하다. 이와함께 전시된 텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해

김진희 기자

2021-09-10 13:36

일반뉴스 [제7회 한국머신비전산업전] 리스광시스템, 불량칩 선별용 프로브 광학계 ‘주목’

[첨단 헬로티] 리스광시스템은 반도체 웨이퍼 컨텍 검사를 통한 불량칩 선별에 활용할 수 있는 프로브 광학계를 비롯, 다양한 광학계 제품들을 선보였다. 프로브 광학계 중 CHUCK 렌즈는 프로브카드의 니들검사용 광학시스템으로 마이크로 14배, 마크로 0.9배의 두개의 배율로 구성돼 있으며, 타겟 정렬 방법 또는 프로젝션 마크 정렬 방법을 사용해 광축정렬을 할 수 있다. BRIDGE 렌즈는 반도체 웨이퍼 표면검사용 광학 시스템으로, 마이크로 15.2배, 미들 8.5배, 마크로 0.6배의 세개의 배율로 구성돼 있다. 동축조명 및 링조명 방법을 사용해 웨이퍼 표면검사에 용이하다. 25M-0.15X텔레센트릭 렌즈는 25메카 CCD 카메라용으로 설계뙨 광학시스템이다. 텔레센트릭 시스템으로 설계뙨 렌즈로써 D.O.F 내의 배율변화가 적고 높은 퀄리티 이미지 구현이 가능하다. 대면적 렌즈로써 긴 작동거리와 넓은 F.O.V가 특징이다. 그리고 동축 조명을 사용해 균일한 조명 조사가 가능하고 조리개 사용으로 초점심도 조절을 할 수 있다. 높은 해상도와 낮은 왜곡을 갖는 렌즈다. 이밖에도 CVMS 시리즈는 간단한 구성으로 고가의 현미경 대체용으로 사용가능하다. 균일한 광조사를

김진희 기자

2018-03-30 07:02