일반뉴스 기계연, 정전 방식 가스·먼지 동시 저감장치 개발…반도체 공정에 적용 기대

[첨단 헬로티] 한국기계연구원(이하 기계연)이 반도체 생산 공정에서 발생하는 온실가스 유발 물질을 줄이는 ‘정전 방식 가스/먼지 동시 저감장치’를 개발했다. 이 공정을 적용하면 기존 반도체 공정에서 전·후로 나뉘어있던 오염물질 처리를 통합형으로 할 수 있어 설비 규모를 30% 절감할 수 있다. 이번 장치는 기계연 환경시스템연구본부 환경기계연구실 김용진 박사 연구팀이 환경부 환경산업기술원의 글로벌탑환경기술개발사업의 일환으로 개발한 것으로, 설비 규모가 기존보다 약 30% 절감된 만큼 생산설비를 추가 구축할 수 있어 생산효율도 높일 수 있을 것으로 기대된다. 이번에 개발된 정전 방식 가스/먼지 동시 저감장치는 정전 전처리 산화 환원 및 습식 전기집진 통합형 시스템이다. 배출가스를 제거하기 위해 고온과 저온 처리를 모두 거쳐야 했던 방식과 달리 저온 상태에서 모두 처리가 가능하다. 반도체 생산 공정에서는 에칭이나 화학 증착, 이온주입 등의 공정을 거치면서 SF6(육불화황), CF4(사불화탄소), NF3(삼불화질소), HF (불화수소), NOx (질소산화물), 초미세먼지 등 다양한 인체 유해 오염물질이 발생한다. 최근에는 반도체 제

• 조상록 기자
• 2018-11-15 21:51