오토메이션월드-대한민국 1등 산업매거진 '자동화기술'

인터뷰 [인터뷰] 오로스테크놀로지, 반도체 계측장비 경쟁력 위한 개발 동력 ‘이상 무’

헬로티 서재창 기자 | 오버레이 계측장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 회로패턴 적층 시 회로 패턴간의 수직방향 정렬도를 제어하는 장비다. 반도체 제조 공정이 점차 미세화하면서, 반도체 정밀도는 수율에 직접적인 영향을 주는 요인이 됐다. 이에 오로스테크놀로지는 오버레이 계측장비를 국산화한 기업으로, 국내뿐 아니라 세계 시장에서 점유율을 높여가고 있어 주목된다. Q : 오로스테크놀로지에 대한 소개를 부탁한다. A : 오로스테크놀로지는 반도체 전 공정 계측장비 전문 업체로서 해외업체가 장악하고 있는 오버레이 계측장비 부분에서 유일하게 국산화 및 양산에 성공한 장비 기업이다. 지난 2011년에는 국내 최초로 12인치 오버레이 계측장비의 자체 개발에 성공한 이래로, 최근 5세대 장비까지 개발했다. 이외에도 소부장 강소기업100 선정, 세계일류상품 인증, 국무총리상 수상 등 정부 인증을 받은 기술력을 갖췄으며 60여개의 기술특허를 보유하고 있다. Q : 지난 상반기 당사가 주력해온 사업 및 성과가 궁금하다. A : 당사의 OL-900n 12인치 5세대 오버레이 장비를 2020년 말 양산 개시 후 고객사의 신규 메모리 FAB에 공급했다. 동 장비는 EUV

서재창 기자

2021-11-08 14:06

일반뉴스 [산업지식인] 전류 전압 측정 시 발생하는 오차 범위를 줄이고 싶어요

헬로티 서재창 기자 | [산업지식인]은 실무자의 질문을 전문가가 자세하게 답변해주는 코너입니다. 산업지식인에는 MTV 웨비나에서 발표자와 질문자가 주고받았던 질의응답을 한 데 모아봤습니다. ATMINC는 '키사이트 SMU를 활용한 전압전류(IV) 측정 기초 및 어플리케이션'이라는 주제로 웨비나를 진행했는데요. 이 웨비나에서는 SMU(Source & Measure Unit)라는 계측기를 집중 조명했습니다. ATMINC는 SMU의 기본 측정 이론과 함께 실제 측정으로 측정되는 결과 값을 보며, 기존 계측장비와 어떠한 차이점이 있는지에 대해 소개했습니다. 이뿐 아니라 추가로 SMU가 가진 기능과 어떤 사양을 갖춘 제품이 있는지에 대해서도 언급했습니다. Q & A Q : 리모트 센싱에 사용되는 와이어에는 리드 저항이 있는데, 와이어를 통한 전압 강하 여부는? A : 리모트 라인의 경우 전류 베이스로 전압값을 환산하기에 리드저항에 영향이 없다. 소스 단에서 발생하는 전압강하량 만을 체크해 보상이 가능하다. Q : 측정 장비의 정확도 유지는 어떤 방식으로 보정하며, 권장하는 점검주기는 어떻게 되는가? A : 소스미터의 자체 캘리브레이션의 경우 오랜 시간이

서재창 기자

2021-10-25 17:24

인터뷰 [SF+AW 2021 참가업체 인터뷰-노바인스트루먼트 문건호 과장] “교정 설비·측정 장비 국내 공급… 교정 장비 기능 향상에 더욱 힘쓰겠다”

[헬로티] 노바인스트루먼트는 온도, 압력, 습도, 노점, 유량, 유속 등의 분야 계측기 전문업체이다. 이 회사는 독일의 CS-instruments, Halstrup Walcher, 미국의 SBIR, 그 외 Time Electronics, AOIP, Zoglab 등 다양한 해외 제조사들의 제품을 국내 공급하고 있다. 또한, 축척된 경험과 전문적인 기술 지식을 바탕으로 기존 수입 품목의 전문 공급과 열전대 불균질 시스템을 개발 및 공급하며, 기압 테스트 설비 및 노점센서, 디지털압력게이지 OEM 공급에도 주력하고 있다. Q. 올해 주력할 역점사업은. A. 노바인스트루먼트는 한국표준과 학연구원, 한국인정기구 교정기관 및 연구기관 등에서 사용되는 기준 교정 설비 및 측정 장비를 공급하여 국내 교정 장비들의 기능 향상과 여러 현장 에서 품질 좋은 생산품이 나올 수 있도록 도움을 드리는 위해 힘쓰고 있다. 특히, 코로나 시대에 체온계의 중요성이 강조되면서 체온용 교정이 함께 중요시 되고 있는데, 체온계의 정확한 온도 측정을 위하여 기준이 되는 교정 장비를 체온계 개발 및 생산 업체에 공급하고 있다. Q. 코로나 팬데믹 시대에 그동안 어떤 전략을 추진해 왔나. A. 코로

임근난 기자

2021-06-02 10:37