헬로티 서재창 기자 |

오로스테크놀로지는 기존의 12inch 오버레이 계측장비에 이어 8inch 계측장비를 공급해 장비 다변화를 위한 행보를 보이고 있다. 

오로스테크놀로지는 6월 말 한국나노기술원의 시스템 반도체 및 차세대 지능형 반도체 R&D 지원사업에 발 맞춰 국산 설비로는 최초로 8inch 오버레이 시스템 OL-100n을 공급한 데 이어, 동일한 8inch 계측장비를 나노종합기술원 입찰에도 성공해 10월 중 공급을 앞두고 있다.

한국나노기술원은 시스템 반도체 및 기업을 대상으로 ‘나노소재기술개발사업’을 통해 국내 반도체 소재, 부품, 장비 지원을 위한 후공정 장비 구축사업을 진행하고 있다.

오로스테크놀로지의 OL-100n은 6inch, 8inch 오버레이 측정 장비로 레거시 프로세스 수요 증가에 대비해 12inch 측정 기술을 기반으로 자체적으로 개발한 장비다.

6inch와 8inch 웨이퍼 핸들링이 모두 가능하며, 해외 경쟁사 기능 대비 업그레이드된 오버레이 성능을 제공한다. 빠른 측정 속도와 사용 편리성을 갖췄으며 동일 장비로 오버레이와 CD 계측까지 가능해 다양한 테스트 결과까지 기대할 수 있다.

해당 OL-100n 장비는 기존의 Overlay 시장을 포함해 폭발적으로 성장하고 있는 화합물 반도체에서도 필요성이 증가 추세에 따라 오로스테크놀로지는 현재 다양한 글로벌 고객사로부터 웨이퍼 평가와 투자에 대한 협의를 진행 중이다.

이미 동 모델의 장비는 대만과 한국의 Device maker에서 양산 적용 중이며, 일본의 자동차 센서향 반도체 FAB과의 평가도 우수한 결과를 보여줘 글로벌 고객사 확대 및 앞으로 장비 다변화를 추진하는 데 있어 긍정적인 전망을 기대할 수 있다.

오로스테크놀로지는 국내 유일의 반도체 전 공정 계측장비 전문기업으로서, 다양한 반도체 공정 계측 분야에 Overlay 시스템의 최적화된 성능을 구현을 목표로 연구개발 활동을 꾸준히 진행 중이다.

Metrology뿐 아니라 Inspection System까지 개발 영역을 넓히고 있으며 앞으로 MI 전문 기업으로의 도약을 준비하고 있다.