[헬로티]

리오시스템이 고휘도 조명장치와 멀티 포지션 링 조명을 출시했다.

YP-250LED는 고휘도 LED 조명 장치로, 웨이퍼 표면의 기스, 이물등을 육안으로 검사할때 사용하는 조명이다. 특수렌즈를 사용하여 빛이 똑바로 조사되기 때문에 기스 및 이물의 빛반사로 검사하는 방법이다. 이 모델의 밝기는 500,000Lux 이상(WD 220mm) 이며,  FOV는 60파이(WD 220mm) 정도다.

WD에 따라 조사면적의 조절이 가능하며, 조명 앞단의 조리개를 조절하여 빛이 좀더 깨끗하게 조사될 수 있다. 기존 메탈 램프(250W)에서 LED램프로 변경되어 예전보다 긴 수명으로 사용이 가능하다. 또한 기존의 제품보다 전력소모량도 1/5 수준으로 줄어들었다고 한다.

사진. 고휘도 조명장치 'YP-250LED'

이와함께 리오시스템은 멀티 포지션링인 IMAR-RGB serise 조명도 출시했다.

이 조명은 곡면의 확산판을 사용하여 조사거리에 따라 다양한 결과를 얻을 수 있다. 원거리(100mm 이상)의 경우, 동축조명과 가깝게 사용 가능하고 평평한 샘플의 표면검사에 최적이다. 중거리(30~100mm)의 경우, 샘플에 균일하게 조사가 가능하며, 이물검사 또는 부품의 유무검사에 최적이다. 단거리(300mm 이하)의 경우는, Low Angle처럼 사용이 가능하며, 엣지강조가 가능하며, 기스검사 및 계측에 최적이다.

RGB의 각각의 색을 256단계로 조광이 가능하기 때문에, 샘플의 검사내용에 대하여 최적의 색감을 작성하는 것이 가능하다. 보다 정밀한 평가검사에 최적이다.

샘플의 종류 및 검사내용이 변경되는 경우에 대하여 RGB조명이라면 최적의 색감을 변경하는 것이 가능하기 때문에 다수의 조명을 준비할 필요가 없다.

사진. 멀티 포지션링인 IMAR-RGB serise 조명