[헬로티]

코그넥스는 쿠카(KUKA) 모바일 로봇의 정확한 이미지 처리를 위해 비전센서 ‘인사이트(In-Sight) 2000’을 도입했다고 밝혔다.

▲인사이트 2000

쿠카는 클린룸을 위한 자동화 로봇을 개발하려 했다. 일반적으로 클린룸 무결성은 ‘무인 생산’을 전제로 하며, 반도체 제조사들은 처음부터 끝까지 모든 절차가 관리되는 엔드 투 엔드 자동화를 선호했지만, 모바일 로봇이 움직이고 물체를 움켜쥐는 정밀함이 부족했다. 

이에 쿠카는 반도체 웨이퍼를 워크 스테이션에서 다음으로 옮기는 과정을 자동화하기 위해 코그넥스에 협업을 요청했다. 코그넥스는 민감한 반도체 웨이퍼를 옮길 수 있는 정밀 로봇 그리퍼 시스템 제작을 위해 인사이트 2000 비전센서를 적용했다. 

쿠카는 반도체 카세트의 자동화 운반 및 취급하는 통합 솔루션인 ‘세미 모빌리티 솔루션(Semi Mobility Solution)’을 개발할 수 있었다고 밝혔다. 

쿠카의 세미 모빌리티 솔루션은 무인운반차와 로봇 팔, 그리퍼가 결합된 형태로, 무인운반차가 웨이퍼 운반 박스가 위치한 인도 지점에 도착하면 로봇 팔이 통합된 코그넥스의 이미지 처리 센서로 위치를 정밀하게 측정한다. 

그 후 로봇이 높은 수준의 정확도로 운반 박스를 잡을 위치로 이동하여 민감한 웨이퍼를 어떠한 진동도 없이 무인운반차 플랫폼의 저장 공간에 보관한다. 

이 방식을 통해 200mm 또는 300mm 지름의 웨이퍼가 담긴 두 가지 다른 크기의 박스를 집어 들고 운반할 수도 있다. 마지막으로 도착지에 도달하면 로봇은 운반 박스를 각 공정 라인에 내려놓는다. 

코그넥스 인사이트 2000은 ▲뛰어난 유연성으로 협소한 공간에서도 고성능 발휘 ▲LED 조명으로 균일한 품질의 이미지 처리 ▲정밀 보정 기능으로 미세 위치 설정 가능의 기능을 포함하고 있다고 밝혔다.

랄프 지글러(Ralf Ziegler) 쿠카 전기사업부 비즈니스 개발 매니저는 “쿠카는 세미 모빌리티 솔루션을 국제 반도체 제조사들에 제공했고, 코그넥스의 첨단 이미지 처리 기술로 매우 민감한 웨이퍼 박스를 확실하고 정확하게 잡을 수 있었다”라고 말했다.