[첨단 헬로티]

검사,분석,측정 장비 전문 기업 에이아이엠(AIM)이 2월 5일부터 7일까지 서울 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2020(SEMICON KOREA 2020)’ 전시회에 참가해 최신 기술을 선보이며 글로벌 시장 진출을 확대한다. 

에이아이엠은 올해 세미콘 코리아에 YXLON과 공동 참가해 최신 장비인 ‘YXLON FF65 CL X-ray’를 포함해 다수의 검사장비를 선보일 계획이다. YXLON FF65 CL X-ray은 완전 자동화 검사 시스템으로 초소형 반도체 결함 검사를 위한 초고해상도 및 확대 기능이 특징이다. 이 장비는 새로운 검사 시스템을 도입해 TSV, C4 범프, 3D 패키지, MEMS를 스트립 또는 구성 요소 수준에서 최대 처리량으로 자동 분석한다. 

이에 따라 YXLON FF65 CL X-ray은 SMT 필드의 BGA를 포함한 반도체 공정의 마이크로 범프, C4범프 및 마이크로 가공 스루 홀검사에 용이하다. 주 애플리케이션으로는 회로판, 전자기기 및 기계모듈, 플러그, 반도체 패키징 검사 등 반도체 공정에 필요한 기능을 가지고 있다.

▲YXLON FF65 CL X-ray

이 외에도 에이아이엠은 표면조도 및 표면형상을 측정하는 장비인 3D 측정기(3D Profiler)도 전시한다. 이 장비는 경사진 표면의 조도의 패러미터를 측정할 수 있고, 강력한 3D 측정 및 스티칭(Stitching) 기능이 특징이다. 또 직관적인 소프트웨어를 포함하는 토탈 솔루션을 제공한다.

에이아이엠 관계자는 “자사에서 개발 제조한 XRF 솔루션은 인라인을 자동화함으로써 작업자의 피로와 안전을 확보할 수 있고, 생산품 그대로 검사가 이뤄지기 때문에 검사시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라 휴먼에러가 제거됨으로써 반복 검사에도 높은 정확도를 확보할 수 있다”며 SEMICON KOREA 전시회 참가를 통해 글로벌 진출을 보다 확대할 계획이다“고 전했다. 

▲에이아이엠 ‘3D 박막두께 측정기’

에이아이엠은 엑스레이를 기반으로 검사하는 데스크탑 및 휴대용 XRF(X-ray Fluorescence : 엑스레이 형광분석) 장비와 인라인 XRF 장비를 공급하고 있는 국내 기업이다. XRF 장비시장은 수입장비 기업이 대다수 인데 에이아이엠은 기술특허 2건, 지적재산권 6건 등 탄탄한 기술력을 인정받아 2018년에는 기술평가우수인증기업으로 선정됐으며, 자체 기술력을 바탕으로 인라인 및 자동화 시장에서 입지를 빠르게 넓혀가고 있다.

세미콘 코리아 2020에서 에이아이엠 장비의 시연은 서울 코엑스 전시회 부스번호 B212에서 확인할 수 있다.