[첨단 헬로티]

어플라이드머티어리얼즈는 프로듀서 플랫폼(Producer) 출시 20주년과 더불어 5000번째 출하를 기록했다고 5일 밝혔다. 이 솔루션은 전 세계 모든 칩 생산에 기여하는 제조 시스템이다. 

1998년 7월 출시된 프로듀서 플랫폼은 알루미늄 대신 더 효과적인 전도 재료인 구리를 배선으로 활용해 칩의 효율을 향상해왔다. 무어의 법칙으로 획득한 성능 및 전력을 개선하기 위해서는 업계 내 대대적인 변화가 필요했다. 이를 위해서는 상당한 비용이 소요되는 새롭고 많은 단계를 거쳐야만 했다. 어플라이드머티어리얼즈는 고객사가 가능한 가장 낮은 운영 비용으로 최고의 성능을 구현할 수 있도록 프로듀서 플랫폼의 모든 요소를 섬세히 설계했다. 

프로듀서 플랫폼은 무어의 법칙 구현 뿐 아니라 노트북 PC, 스마트폰 및 웨어러블 기기 등 전자 기기의 대량 도입을 현실화하는 등 복잡한 문제를 해결했다. 이로써 업계 내 필수적인 솔루션으로 자리 잡았다. 

▲ 어플라이드머티어리얼즈 프로듀서 플랫폼

또 통합 프로세스 플랫폼(Integrated Process Platform)은 화학기상증착(CVD, Chemical Vapor Deposition)을 위한 단일 프로세스 시스템으로 도입된 후 업계의 기준으로 자리 잡았다. 어플라이드머티어리얼즈는 수년 간 프로듀서 플랫폼의 성능을 식각, 선택적 제거 및 처리 기술 등으로 확장해왔다. 많은 재료가 현재 무어의 법칙의 스케일링에 있어서 물리적 한계에 다다르고 있다. 

VLSI 리서치의 G. 댄 허치슨(G. Dan Hutcheson) 대표는 “어플라이드머티어리얼즈는 프로듀서 플랫폼이라는 혁신을 통해 전례 없는 거대한 업적을 이뤘다. 높은 생산성을 유지하면서도 여러 세대에 걸친 기술을 지원하는 유연한 아키텍처를 개발했다”라며, “프로듀서 플랫폼은 칩 제조업체가 완전히 새로운 방식으로 칩을 구상하고 설계할 수 있도록 돕는다. 어플라이드머티어리얼즈는 반도체 산업의 가장 중요한 공정 시스템에 있어 큰 획을 그었다”라고 말했다. 

숫자로 보는 프로듀서 

ㆍ180 nm (나노미터) 부터 50nm까지 10가지 기술 노드 지원 가능

ㆍ구리, 변형 공학, 하이케이메탈게이트(HKMG), 핀타입(FinFET), 3D 낸드 등 산업 혁신을 20년 간 주도

ㆍ19억 제곱미터 면적의 실리콘 생산 – 미국 뉴욕 맨하튼 면적의 약 30배