[첨단 헬로티]

나노시스템이 지난 4월 24일부터 26일까지 고양 킨텍스에서 개최된 <2018 국제전자회로 및 실장산업전(KPCAshow)>에 참가해 다양한 기능의 초정밀 측정 장비 NV 시리즈를 공개해 주목받았다. 

나노시스템은 반도체, 디스플레이, 광통신부품 초정밀 미세가공 등의 각종 부품소재의 3차원 초정밀 측정, 검사 장비 전문 기업이다. 특히 우수한 기술력과 더불어 국내 기업인 만큼 가격 경쟁력과 빠른 에프터서비스(AS)를 강점으로 내세우고 있다. 

이번 전시회에서 나노시스템이 주력으로 소개하고 있는 NV 시리즈는 마이크로 이하 나노미터까지 측정할 수 있는 초정밀 장비다. 특히 나노시스템 고유의 특허인 백색광주사간섭계 WSI(White Light Interferometry)와 알고리즘으로 개발된 점이 특징이다. WSI 기술은 높은 분해능(0.1nm)과 빠른 속도(2초)로 모든 표면을 샘플을 훼손하지 않고 비파괴로 0.1nm부터 10000µm까지 측정할 수 있고, 2/3D형상으로 측정 결과를 볼 수 있다. 

또 제품 마다 광위상간섭계 PSI(Phase Shifting Interferometry) 방식을 선택할 수 있는데, 이 기술은 0.3µm 이하만 측정이 가능하지만 분해능은 0.1nm로 뛰어나다. WSI와 PSI는 다른 측정 원리이지만 다중 파장 또는 단색 파장을 이용하는 점을 제외하고는 동일한 광학 및 측정 시스템을 사용 하기 때문에 같이 사용될 수 있다. 

전병준 나노시스템 영업기술팀 과장

전병준 나노시스템 영업기술팀 과장은 “전통적인 접촉식 조도측정기(Stylus)는 접촉식이기 때문에 샘플에 스크레치를 남기고 분해능이 2um로 제한됐고, 볼 밑까지 측정이 어려웠다. 그러나 광 방식을 사용하면 보다 정밀한 측정이 가능하다”고 설명했다. 

OutPut 거칠기를 표현하는 데이터는 약 100개 이상으로 많은데, NV 시리즈는 ISO 9001:2000(인증번호: K-QA-Q041816)를 획득했기 때문에 ISO 규격에 맞는 데이터를 만들 수 있고, 반복 측정 능력이 뛰어나다. 

NV 시리즈 중 가장 하이엔드급 장비인 NV-3200은 올인원(All-in-One) 제품으로 모든 표면의 형상을 세미 오토로 빠르게 측정할 수 있는 측정기이며, 인라인(In-line) 측정/검사 방식으로 생산품의 품질, 수율 관리의 목적으로 설계됐다. 이 제품은 모터 방식의 넓은 X/Y 스테이지(300x300mm)가 장점이며, 스티칭(Stitching) 기능을 통해 대영역(500㎟) 측정을 가능하게 해주고 다양한 편의기능을 갖추고 있다. 

NV-2700

또 NV-2700은 NV-3200과 동일한 측정 성능을 갖추고 있으며, X/Y 스테이지(100x100mm)가 다른점이다. NV-2400은 특별히 연구소, 대학교, 또는 공정관리를 위해 제작됐으며, 사용 빈도율이 높은 필수 기능만을 갖춘 경제적인 제품이다. 5개의 렌즈를 선택할 수 있다는 점이 장점이다. 컴팩트한 모델인 NV-18000은 3D 광학 표현 프로파일러(3D Optical Surface Profiler) 제진대 일체형으로 간편한 조작과 사용자 편의를 극대화했다.

전병준 과장은 “NV 시리즈는 PCB, MEMS, OLED, RFID, 웨이퍼, TFT-LCD, 마이크로 렌즈, 백라이트 LGP 패턴 등 다양한 부품소재 측정에 활용된다”며 “나노시스템은 가장 빠르고, 가장 정밀하고, 가장 사용하기 편한 장비를 개발 공급한다는 목표 아래 최선을 다하고 있다”고 전했다.