[제7회 한국머신비전산업전] 리스광시스템, 불량칩 선별용 프로브 광학계 ‘주목’

2018.03.30 07:02:52

 

[첨단 헬로티]

 

리스광시스템은 반도체 웨이퍼 컨텍 검사를 통한 불량칩 선별에 활용할 수 있는 프로브 광학계를 비롯, 다양한 광학계 제품들을 선보였다.

 

프로브 광학계 중 CHUCK 렌즈는 프로브카드의 니들검사용 광학시스템으로 마이크로 14배, 마크로 0.9배의 두개의 배율로 구성돼 있으며, 타겟 정렬 방법 또는 프로젝션 마크 정렬 방법을 사용해 광축정렬을 할 수 있다.

BRIDGE 렌즈는 반도체 웨이퍼 표면검사용 광학 시스템으로, 마이크로 15.2배, 미들 8.5배, 마크로 0.6배의 세개의 배율로 구성돼 있다. 동축조명 및 링조명 방법을 사용해 웨이퍼 표면검사에 용이하다.

 

25M-0.15X텔레센트릭 렌즈는 25메카 CCD 카메라용으로 설계뙨 광학시스템이다. 텔레센트릭 시스템으로 설계뙨 렌즈로써 D.O.F 내의 배율변화가 적고 높은 퀄리티 이미지 구현이 가능하다. 대면적 렌즈로써 긴 작동거리와 넓은 F.O.V가 특징이다. 그리고 동축 조명을 사용해 균일한 조명 조사가 가능하고 조리개 사용으로 초점심도 조절을 할 수 있다. 높은 해상도와 낮은 왜곡을 갖는 렌즈다.

 

 

 

 

 

이밖에도 CVMS 시리즈는 간단한 구성으로 고가의 현미경 대체용으로 사용가능하다. 균일한 광조사를 위한 Koehler illumination이 장착돼 있다. FIXED FOCAL LENS는 높은 밝기와 분해능을 제공한다. 90도 앵글 타입으로 공간적 제약에 유리하게 디자인돼 있으며, Fine Focusing adjustment 기능으로 쉬운 동작성을 갖는 것도 특징이다.

 

올해로 7회째를 맞이하는 한국머신비전산업전(Korea Vision Show)은 스마트팩토리와 자동화의 기반기술인 머신비전 트렌드를 한눈에 볼 수 있는 장으로 마련됐으며, 한국머신비전산업협회는 3일동안 개최되는 머신비전 기술세미나를 통해서 신제품 및 신기술 동향을 파악할 수 있도록 했다. 

 

한편, (주)첨단, 코엑스, 스마트공장추진단, (사)한국스마트제조산업협회, (사)한국머신비전산업협회가 공동 주최하는 Smart Factory+Automation World 2018은 국제공장자동화전(aimex), 한국머신비전산업전(Korea Vision Show), 스마트공장 엑스포(Smart Factory Expo)로 구성된다.

김진희 기자 jjang@hellot.net
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