[헬로티]

웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 제조업체인 EV 그룹(EVG)은 나노종합기술원(NNFC)과 NNFC에서 분사한 재료 토털솔루션 업체인 나노 이니쉐이티브(NI)와 공동 개발한, 디스플레이를 위한 개선된 투명 나노 구조화 반사-방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating) 생산용 공동개발 프로그램(JDP) 결과를 발표했다.

대부분의 고분자 코팅(polymeric coatings) 보다 우수한 97% 이상의 투과율과 표면경도 3H를 제공하는 뛰어난 구조 복제의 반사방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 성공적으로 입증했다. 이와 대조적으로, 현재 박막광학 코팅(thin-film coatings) 기술은 92%의 투과율만 제공한다. 

이들 3사는 디스플레이 코팅의 상용기술 기준에 최적화 된 NI의 고분자 소재 재료를 이용한 200mm 글래스 웨이퍼에 임프린트(imprint)를 위한 EVG사의 독자 기술인 SmartNIL UV-NIL(nanoimprint lithography) 기술을 적용해 이러한 성과를 달성했다.

▲나노종합기술원 전경.

2015년 11월에 착수된 공동개발프로그램은 초기 생산 규모를 쉽게 확장할 수 있는 나노 구조용 제조 공정을 추가해 고분자 재료를 기본으로 대면적 디스플레이를 위한 새로운 나노 구조화 반사-방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 개발하기 위해 2년간 운영할 목적으로 출범했다.

이들 기업은 다음 단계로, EUREKA 프로젝트에 착수할 계획이며, 이 프로젝트에 최종 사용자도 참여할 수 있도록 기회를 확장할 예정이다. JDP연구 기관인 NNFC는 Gen 2(370 mm x 470 mm) 패널들처럼 대면적의 대량 패널 제조 실현이 가능할 수 있도록 산업 파트너들에게 새로운 반사-방지 코팅 기술을 전수할 계획이다. 이번 특정 프로젝트 뿐만 아니라, 3사의JDP 협력사들은 나노 구조와 NIL 기술이 필요로 하는 다른 응용 분야를 조사할 계획이다.

이들은 공동개발 프로그램에 대한 결과를 7월13일부터 15일까지 경기도 고양시 한국국제전시장(KINTEX)에서 개최되는 NANO KOREA 심포지엄과 전시회에서 선보인다.  

▲EVG-나노종합기술원-나노이니쉐이티브 등은 디스플레이 코팅 신기술 테스트에 성공했다고 밝혔다. 사진은 EVG 클린룸 전경.

EVG 코리아의 양원식 지사장은 “한국 내 파트너인 NNFC, NI 등과 협력해 새로운 디스플레이 코팅 기술을 상업화하고, 대면적 디스플레이 제조를 지원할 수 있도록 국내 산업 협력업체들과 협업을 모색하겠다”고 말했다.

김진희 기자 (eled@hellot.net)