한국두성은 오는 3월 9일부터 11일까지 서울 코엑스에서 개최된 Automation World 2016에 참가하여 정전기 제거장치와 핸드툴 및 비트 등을 출품한다.

한국두성은 일본 VESSEL社의 이오나이저(정전기 제거장치)와 핸드툴 및 비트와 일본 프런티어 시스템社의 광학 결점/이물 검사 장비, 그리고 HARADA社의 진공 자외선 이오나이저(감압하에서 제전·제진의 유일한 솔루션)를 수입, 판매하고 있다.

이번 전시에서 한국두성은 감압하에서 정전기 제거가 가능한 진공 자외선 이오나이저(제품명, IUV-303)를 선보였다. 이 제품은 웨이퍼 등의 대전전위가 1/10까지 감쇠하는데 상압하에서 1~2초, 감압하에서는 수ms오더로 제전이 가능하다. 

특히 빛이 조사되고 있는 공간에서 광범위하게 가스를 이온화하여 생성하기 때문에 가스 유동상태에 관계없이 안정된 제전 성능을 발휘할 수 있다.

임재덕 기자 (eled@hellot.net)