비접촉·비파괴로 3차원 조도나 형상, 막두께를 측정할 수 있는 주사형 백색 간섭현미경의 새로운 시리즈 4모델이다. 수직분해능 0.01nm을 실현한다. 2.5배 대물렌즈 사용 시 최대 시야 사이즈는 7.1×5.3mm를 실현, 화상 연결을 이용하면 더욱 넓은 시야 측정이 가능하다. GUI를 이용한 간단한 조작으로, 입자 해석, 부하곡선 해석, 미분 화상, 라인 계측이 가능하다.
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