파미의 SPI 검사기인 SIGMA X는 RSC 7를 탑재해 RSC 6 대비 검사 속도를 25∼30% 증가시켰고, 기판 이송 시퀀스 최적화로 감속 및 정지 시퀀스 최적화, 로딩/언로딩 타임을 단축했다. 기판 휨과 실시간으로 Z축을 제어할 수 있어 10mm(2%)까지 측정정확도를 보장하며, 기판 전체영역을 스캔함으로써 정확한 휨 불량 판정을 할 수 있다. 또한 리얼 3D 이미지를 사용해 노이즈 없는 정확한 3차원 영상을 제공한다.
임재덕 기자 (smted@hellot.net)